[发明专利]以测量金属丝电极偏转度的光电传感器为特征的电蚀机无效
申请号: | 88107205.2 | 申请日: | 1988-10-13 |
公开(公告)号: | CN1025299C | 公开(公告)日: | 1994-07-06 |
发明(设计)人: | 伊凡诺·贝尔特拉米;彼得·韦阿里 | 申请(专利权)人: | 洛迦诺电子工业股份有限公司 |
主分类号: | B23H7/06 | 分类号: | B23H7/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王忠忠 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供以测量金属丝电极偏转度的光电传感器为特征的电蚀机,它包括走丝电极和测定走丝电极偏转度的光学测量装置。测量装置有产生均匀平行光束的光源(10)。测定来自光源且为走丝电极(9)遮住的光束的传感器组合件(1,11)设计得吸收与走丝电极(9)的相对位置具有对应关系的光量。连接在传感器组合件下游的鉴定电路提供表示走丝电极偏离其直线位置的偏转度的电信号。用此信号校正走丝电极与工件的相对位置,从而避免因走丝电极偏转而引起的加工误差。 | ||
搜索关键词: | 测量 金属丝 电极 偏转 光电 传感器 特征 电蚀机 | ||
【主权项】:
1.一种以测量金属丝电极偏转度的光电传感器为特征的电蚀机,它包括有一走丝电极(9)和一测定走丝电电极偏转度用的光学测量装置,该测量装置有一光源(10)、一传感器组合件(1,11)和一鉴定电路(12),传感器组合件用以测定来自光源(10)且为走丝电极(9)所遮住的光束(32),鉴定电路(12)则电连接到所述传感器组合件,其特征在于传感器组合件(1、11)的有效光吸收表面具有呈三角形的严格单调变化的几何形状,使得所述传感器组合件吸收与走丝电极的相对位置具有一对一的对应关系的光量。
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