[发明专利]压力传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 88108843.9 | 申请日： | 1988-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1018197B | 公开（公告）日： | 1992-09-09 |
| 发明（设计）人： | 米尔顿·W·马瑟斯 | 申请（专利权）人： | 胡纳威尔公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;C03C27/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 辛哲生 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种无需套筒的玻璃(16)与金属(11)的焊接连接结构(20)，其中的玻璃用一种焊料可浸润金属涂敷。本发明在高压环境中、或者是作为包括有硅基压力传感器的压力传感器组件的一部分时是特别有用的。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：包含有一个压力传感装置(22)的半导体压模(21)，其中所述的压力传感装置暴露在所述的压模的表面上；具有相对的第一端部和第二端部的玻璃元件(16)，其中所述的第一端部与所述的半导体压模适当粘接以使其第一端部环绕着处在半导体压模表面上的压力传感装置，具有焊流可浸润区(19)的金属元件(11)，其中所述的焊料可浸润区靠近所述的第二端部时，该区域将至少基本上覆盖住玻璃第二端部的表面，处在所述的第二端部和焊料可浸润区之间的焊接连接物(20)，其中焊料是对所述的焊接连接提供支撑的唯一的手段，其特征在于所述的玻璃元件第二端部的整个表面基本上用一种含钛的焊料可浸润材料涂复着，并且焊料形成了可在外界压力大干14磅/平方英叶的条件下使用的强度足够的连接。
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