[发明专利]大孔径显微投影物镜光学系统

摘要

本发明涉及一种大孔径显微投影物镜光学系统，该系统由二组镜片以及它们之间的光阑组成，前组镜片为三片，后组镜片为四片，前后组中负镜片采用ZF7玻璃，前组和后组中的其它镜片采用LaK2和LaK6玻璃材料制成，各镜片是单片分离设置，在前组与后组镜片之间有一个光阑。整个系统紧凑，加工精度要求一般，适用性强，能用于作为印刷制版机的通用扫描物镜。

主权项

1.一种大孔径显微物镜光学系统，它由二组镜片组成，前组为三片，后组为四片，其特征是前组焦距f′＝2.039，后组焦距f′＝0.661，其中：前组三片的焦距分别为：f′1＝2.000，f′2＝-2.144f′3＝2.182后组四片的焦距分别为：f′4＝1.420，f′5＝-0.863f′6＝0.944，f′7＝1.045前后组中负镜采用高折射率ZF7玻璃，前组其它二片，后组其它三片分别采用Lak2和Lak6玻璃材料，所述系统的各镜片是单片分离的从f1到f7镜片设置的次序是“+-++-++”排列，在前组与后组透镜组之间有一个光阑。