[发明专利]空间光调制器无效
| 申请号： | 89101512.4 | 申请日： | 1989-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1025455C | 公开（公告）日： | 1994-07-13 |
| 发明（设计）人： | 拉里·J·霍恩贝克 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯仪器公司 |
| 主分类号： | G02F1/29 | 分类号： | G02F1/29;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可静电偏转的偏转片式空间光调制器，它具有偏转片(30)、寻址电极(42，46)和着陆电极(40，41)可保证偏转片在着陆电极(40，41)上软着陆，它给出均匀的大角度偏转外加高的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种空间光调制器，它包括：(a)在基片上的多个象素，上述每一个象素包括一个反射偏转片和一个邻近上述偏转片的寻址电极，其特征在于，上述每个象素还包括一个邻近上述偏转片的着陆电极；上述反射偏转片是在离开上述寻址电极和着陆电极一段距离上支承的一个反射层上形成的，上述偏转片通过在上述反射层里形成的偏转铰链接到上述反射层上；(b)其中，施加于上述偏转片和上述寻址电极之间的一个电压使上述偏转片向着上述寻址电极偏转，上述着陆电极安置成与向着上述寻址电极偏转的上述偏转片接触而防止上述偏片接触上述寻址电极；上述偏转片和上述着陆电极基本上为等电位。
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