[发明专利]一种制造固态器件的方法及其产品无效
| 申请号： | 89103498.6 | 申请日： | 1989-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1020992C | 公开（公告）日： | 1993-05-26 |
| 发明（设计）人： | 简·埃德加·埃维茨;罗伯特·恩内斯特·索梅克 | 申请（专利权）人： | 英国技术集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 罗宏 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造固态器件的方法，包括诸如氧化镁的金属氧化物外延阻挡层(11)的溅射，以及于其上沉积另一个外延薄膜(12)。基体最好是氧化铝，且薄膜可是钇、钡、铜和氧的高温超导化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 固态 器件 方法 及其 产品 | ||
【主权项】：
1.一种制造固态器件的方法，此方法是通过含金属的靶向含氧化铝基片上溅射材料的方式形成至少一种金属的氧化物外延层，所述金属包括至少一种选自镁、锶、钛和锆组成的金属组中的金属，和随后在所述金属氧化层上形成包括钇、钡、铜和氧的化合物的外延层。
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