[实用新型]微机化干涉扫描微位移测量仪无效
| 申请号： | 89206552.4 | 申请日： | 1989-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN2057744U | 公开（公告）日： | 1990-05-30 |
| 发明（设计）人： | 钱石南;冯焕清;张志萍;黄文浩;施周宏;阚娅 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国科学技术大学专利事务所 | 代理人： | 童建安 |
| 地址： | 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机化干涉扫描微位移测量仪器，属于长度计量技术领域。本实用新型根据扫描干涉仪原理，采用三光束射入单一的法布里·白洛干涉仪，分别判别位移的方向、整数和小数，使测量量程提高了一倍。同时采用了压电扫描非线性补偿装置，光准直系统，光导纤维，斜光束干涉聚光镜，微膨胀合金结构和微机提高了精度和测量自动化。本实用新型可使量程达100微米，精度达0.005微米，可用于块规检定，物理量测试，地震研究及同步辐射实验。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 干涉 扫描 位移 测量仪 | ||
【主权项】：
1、一种微机化干涉扫描微位移测量仪，它由机械系统、光电系统、测量显示系统组成，其中：(1)机械系统有平行弹簧导轨(15)，中心测杆(16)。(2)光电系统有激光器(1)，压电陶瓷(9)，法布里·白洛干涉仪(10，11)。(3)测量显示系统有放大器(21)，接口(22)。其特征在于：来自激光器(1)的光束经过光准直系统、分光偏角系统后进入法布里·白洛干涉仪(10，11)，然后该光束穿过聚光镜(13)，射到反射镜(14)上；压电陶瓷(9)与干涉仪的上腔片(10)相连，由压电扫描非线性补偿装置驱动；聚光镜(13)、法布里·白洛干涉仪的下腔片(11)与测杆(16)刚性连接成仪器中的可移动部件，光导纤维(20)置于光电转换器(26)的前部，微机(28)经模数转换器(22)，放大器(21)与光电转换器(26)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/89206552.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
