[实用新型]一种氢气检测装置无效
| 申请号： | 89208773.0 | 申请日： | 1989-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN2051739U | 公开（公告）日： | 1990-01-24 |
| 发明（设计）人： | 徐永祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 卢纪 |
| 地址： | 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种由一个钯栅MOS器件与一个无钯层金属栅MOS器件组成互补电路的氢气检测装置，它能消除各种环境与非环境因素的影响，提供稳定可靠的纯净氢敏输出。其特征在于它包括一个由钯栅MOS器件与无钯层金属栅MOS器件组成的互补氢气检测电路以及一个由测温元件与加热元件组成的温度控制电路两个主要部分，并由互补氢气检测电路的输出端作为检测装置的输出端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用半导体氢敏传感器组装的氢气检测装置，其特征在于它包括一个由钯栅MOS器件与无钯层金属栅MOS器件组成的互补氢气检测电路以及一个由测温元件与加热元件组成的温度控制电路两个主要部分，并由互补氢气检测电路的输出端作为检测装置的输出端。
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