[实用新型]区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构无效

专利信息
申请号: 89213391.0 申请日: 1989-12-12
公开(公告)号: CN2071322U 公开(公告)日: 1991-02-13
发明(设计)人: 盛耀昌;张印赤 申请(专利权)人: 东风电机厂
主分类号: F27D5/00 分类号: F27D5/00;C30B29/34;C30B30/02
代理公司: 乐山市专利事务所 代理人: 张富生
地址: 四川省乐山邮*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种区熔单晶炉拉制大直径单晶硅棒的夹持机构,由一个置于真空炉室内,随同下轴边旋转边升降;内腔可通循环冷却水的夹持体,一个焊有拨叉并装有三个支持块的夹持环,与支持块位置对称安装的支持柱,三根斜插在夹持体孔内的夹持棒等零部件组成,当拨转夹持环时,支持块随之转动,脱离支持柱,三根夹持棒不再被卡而在重力作用下沿斜孔下滑,棒端同步接触单晶硅棒,达到夹持目的。
搜索关键词: 区熔单晶炉 单晶硅 夹持 机构
【主权项】:
1、一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,具有装在夹持器斜孔内的金属销构成的夹持元件,其特征为:夹持体(2)具有三个均布对称的斜孔,孔内插有夹持棒(1),夹持棒由支持块(4)托住,支持块用螺钉连接于夹持环(5)上,拨叉(6)焊接于夹持环上,在支持块的下方是支持柱(3),整个夹持机构与真空炉室上、下轴、加热线圈同轴安装于炉室内。
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