[实用新型]区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构无效
申请号: | 89213391.0 | 申请日: | 1989-12-12 |
公开(公告)号: | CN2071322U | 公开(公告)日: | 1991-02-13 |
发明(设计)人: | 盛耀昌;张印赤 | 申请(专利权)人: | 东风电机厂 |
主分类号: | F27D5/00 | 分类号: | F27D5/00;C30B29/34;C30B30/02 |
代理公司: | 乐山市专利事务所 | 代理人: | 张富生 |
地址: | 四川省乐山邮*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种区熔单晶炉拉制大直径单晶硅棒的夹持机构,由一个置于真空炉室内,随同下轴边旋转边升降;内腔可通循环冷却水的夹持体,一个焊有拨叉并装有三个支持块的夹持环,与支持块位置对称安装的支持柱,三根斜插在夹持体孔内的夹持棒等零部件组成,当拨转夹持环时,支持块随之转动,脱离支持柱,三根夹持棒不再被卡而在重力作用下沿斜孔下滑,棒端同步接触单晶硅棒,达到夹持目的。 | ||
搜索关键词: | 区熔单晶炉 单晶硅 夹持 机构 | ||
【主权项】:
1、一种区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构,具有装在夹持器斜孔内的金属销构成的夹持元件,其特征为:夹持体(2)具有三个均布对称的斜孔,孔内插有夹持棒(1),夹持棒由支持块(4)托住,支持块用螺钉连接于夹持环(5)上,拨叉(6)焊接于夹持环上,在支持块的下方是支持柱(3),整个夹持机构与真空炉室上、下轴、加热线圈同轴安装于炉室内。
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