[发明专利]具有高导电字线的两个方形存储单元

摘要

只利用衬底主表面两方块的十分小存储单元包括具有主表面和纵轴的半导体衬底，设置在衬底内的槽；在槽的给定侧壁上、具有存储结点的存储电容器；开关器件，它耦合到存储电容器并有与槽纵轴平行的长形电流携带元件，和在存储电容器和长形电流携带元件间、设置在槽侧壁上的控制元件；以及垂直于槽纵轴设置在衬底主表面上、且与开关器件的控制单元接触的导线。此外，在每一槽和字线的交会处形成两个完整的存储单元，槽每一侧形成一单元。

主权项

1.一种存储器，它包括：一块半导体衬底，它具有一个主表面和设置在所述衬底内、具有一纵轴的槽；存储装置，它设置在所述槽的一个给定侧壁上；所述存储器的特征在于还包括：开关装置，它包括：一个长形电流携带元件纵向平行于所述槽的纵轴，且设置在所述槽的给定侧壁附近，以及一个控制元件设置在所述存储装置和所述长的电流携带元件之间的所述槽的所述侧壁上，并耦合到所述存储装置；以及第一导电线，它按与所述槽的纵轴垂直的方向设置在所述半导体衬底的主表面上，与所述开关装置的控制元件相接触。