[发明专利]用于连续补给熔料的系统无效

专利信息
申请号: 90104389.3 申请日: 1990-05-23
公开(公告)号: CN1024571C 公开(公告)日: 1994-05-18
发明(设计)人: 加里·M·弗里德曼;劳伦斯·L·佩列茨;约翰·G·韦里斯 申请(专利权)人: 无比太阳能公司
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/66;C30B29/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 齐曾度
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种将固体硅粒连续供给生长空心管状结晶体设备的系统,本系统包括贮存固体硅粒的容器,振动的、气动的或其它装置造成该颗粒通过容器下部开口排出;收受室与容器相连通,用来接收自容器发放来的颗粒;以及为在收受室提供增压液体射流的装置。后者与晶体生长设备的坩埚相连通,由一管道向上延伸通过坩埚的中心。操作时,硅粒从容器中被发放出来,进入收受室,在此增压液体的射流携带硅粒,并把硅粒推出收受室,经管道而进入晶体生长炉,得落到坩埚盛装的熔硅中。
搜索关键词: 用于 连续 补给 系统
【主权项】:
1.一种将固体硅粒送入用来生长空心管状结晶体设备的系统,该设备包括一个盛装硅熔体的坩埚,所说的坩埚有一个底壁,该系统包括:用于贮存固体硅粒的贮料装置;管道装置,它连到所说的贮料装置和穿过所说坩埚的底壁,以提供一条从所说的贮料装置到所说的坩埚的通路,沿着该通路将在所说的贮料装置中贮存的硅粒从所说的贮料装置输送到坩埚;以及给料装置,用以将所说的贮料装置中贮存的固体硅粒发送到所说的管道装置,并向所说的管道装置提供增压气流,以便借助于所说的增压气流使所说的管道装置中的硅粒遂入所说的坩埚中。
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