[发明专利]各向异性腐蚀硅片的改进方法与硅片腐蚀溶液无效
| 申请号： | 90108439.5 | 申请日： | 1990-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1024148C | 公开（公告）日： | 1994-04-06 |
| 发明（设计）人： | 拉里·威尔伯·奥斯丁;哈罗德·乔治·林德 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 乔晓东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种各向异性腐蚀(100)硅片晶面的改进方法，它包括将其硅晶片浸渍在腐蚀溶液中，其腐蚀溶液含有一种芳族化合物，该芳族化合物苯环上具有至少两个相临的羟基和一个极性官能团，一种胺和水。达到了高质量的腐蚀，其速率高得多。 | ||
| 搜索关键词： | 各向异性 腐蚀 硅片 改进 方法 溶液 | ||
【主权项】：
1.一种腐蚀硅的方法，其特征在于，所述的硅与腐蚀溶液接触，其腐蚀溶液含有4-6摩尔％的在苯环上至少有两个相邻的羟基和一个极性官能团的芳族化合物、39-56摩尔％的胺和57-38摩尔％的水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/90108439.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：厚大断面球墨铸铁件用球化剂
- 下一篇：醇的生产
