[发明专利]测量探针无效

专利信息
申请号: 90109008.5 申请日: 1990-11-03
公开(公告)号: CN1025887C 公开(公告)日: 1994-09-07
发明(设计)人: 伊恩·肯尼思·巴克斯特 申请(专利权)人: 兰克·泰勒·霍布森有限公司
主分类号: G01B7/00 分类号: G01B7/00;G01B7/03;G01B5/20
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 孙洁敏,林长安
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种连续测量工件的多轴测量探针,它的针头由相反方向作用的几个弹性力悬置从而确定一个平衡的静止位置。这种结构改进了探针的动态响应和精度的协调。在该探针的校准期间,沿着弯曲路线在探针给定的多个位置收集一系列探测数据,并收集一系列与探针无关的给定位置的位置数据,然后在探测数据和位置数据之间进行换算,以获得用于较正测量信号的校准参数。这些校准参数与一个测量表达式被贮存起来以备与探测输出信号一起应用,以获得校正的测量信号。
搜索关键词: 测量 探针
【主权项】:
1.一种用于测量工件的探针,该探针具有一条纵向Z轴并包括一个主体和一个针头或针头固定件,该针头或针头固定件有一个由许多个回复力之间的平衡所限定的相对于主体的静止位置,该多个回复力中的至少一个第一个回复力其大小随针头或针头固定件的位移而变化,其特征在于所述回复力是(i)由一个膜片弹簧提供的,或(ii)由一个其一部分构成该膜片弹簧的构件提供的,以便针头或针头固定件在Z轴方向上的移动变化膜片弹簧具有的锥形角度。
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