[发明专利]光敏材料无效
申请号: | 90109213.4 | 申请日: | 1990-10-13 |
公开(公告)号: | CN1051250A | 公开(公告)日: | 1991-05-08 |
发明(设计)人: | 阿诺斯特·赖泽 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | G03C1/72 | 分类号: | G03C1/72;G03F7/038 |
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 刘元金 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种光敏材料,其中的光敏组合物含有一种可用酸降解的交联键的聚合物以及一种对光化辐射曝光后能产生酸的组分。 | ||
搜索关键词: | 光敏 材料 | ||
【主权项】:
1、一种光敏材料,它包括载有光敏涂层的支持体,所述的光敏涂层含有:(a)一种聚合物,它含有可用酸降解的交联键,其数量为按聚合物重量计至少约1%重量,以及:(b)一种光敏组份,它在对光化辐射曝光后可产生酸。
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