[实用新型]容栅位移传感器

摘要

本实用新型提供一种改进的容栅位移传感器用以精确测量位移量。其特征在于将现有技术中发射极改成砖墙形图形使发射极节距为P/2，是原来的四倍，另外把定尺上的接收极a和接地极b制成具有相同间隔相同形状的电极。在同样测量要求和使用同样电子电路情况下，这种传感器的容栅可以做得较宽，电极间隔离间隙对测量精度的影响较小，因此容易制造，并容易替换现有容栅位移传感器在数显卡尺等测量设备中得到应用。

主权项

1、一种用于测量位移的容栅位移传感器，其特征在于有两个平行安装并可相对位移的电极组构成一个电容系统，其中一个电极组沿位移方向分布有若干个等节距P/2的接收极，接收极间用同样节距的接地极隔开，各接地极联接在一起并接地；另一个电极组沿位移方向分布有砖墙形图形的多组发射极，每组8块，依次为C1、C2、C3、C4、C5、C6、C7、C8，每块的节距为P/2排成等高的4排，第一排为C1、C5，第二排为C2、C6，第三排为C3、C7，第四排为C4、C8，相邻排发射极的隔离间隙位置互相错开P/8，同名的发射极联接在一起，这个电极组中还分布有引出极；传感器工作时在8个发射极上分别施加相位互差π/4的同波形交变激励电压，在引出极输出合成信号。