[实用新型]光刻机的自动调焦装置无效
| 申请号： | 90214965.2 | 申请日： | 1990-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN2073594U | 公开（公告）日： | 1991-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吴濯才;刘业异;谢传钵;姚汉民;林大键 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种光刻机的自动调焦装置，属于对已有光刻机自动调焦装置中的调平机构，调焦机构的进一步改进。其特征在于调平机构中，调平板由一压紧装置固定，分别由螺纹副和电机组成的三个支撑装置，活动地支撑着调平板，由压电陶瓷驱动器和弹性支座以及零位调节装置构成调焦机构。本实用新型调焦精度提高70％，调平精度达1μm，对光刻物体厚度差的适应能力显著增强，抗干扰能力强，刻线质量好，刻划周期短，提高工效和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 自动 调焦 装置 | ||
【主权项】：
1、一种包括光电探测信号处理系统以及调平机构和调焦机构的光刻机自动调焦装置，其特征在于：调平机构中，调平板3由一压紧装置4固定，分别由螺纹付5和电机6组成的三个支撑装置，活动地支撑着调平板3，由压电陶瓷驱动器9和弹性支座以及零位调节装置10构成调焦机构。
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