[发明专利]用于制造微电子触摸开关触摸电极材料的方法

摘要

一种用于制造微电子触摸开关的触摸电极材料的制造方法，是用卤化锡、卤化锑、硼酸、四氯化钛、五氧化二钒、硅酸钠(或钾)的饱和溶液在高温下处理在耐温绝缘体的表面、进入其晶格中，再经老化处理而成。这种电极材料具有良好的导电性、透明度、一定的电容器、一定的抗酸、碱腐蚀和抗冲击能力，在交、直流中作用下均有电转换效应。

主权项

1、一种用于制造微电子触摸开关的键盘触摸电极材料的方法，所述的微电子触摸开关由复合半导体键盘，电流放大电路组成，其特征在于：该方法包括如下步骤：(1)基体的清洗与净化：以玻璃、陶瓷、搪瓷、耐温塑料及其层压材料等板材为基休，以洗涤剂、清水、无离子水、无水乙醇清洗，必要地用氢氟酸或氢氧化钾溶液清洗；(2)按如下配方配制基料：卤化锡(SnXn，X＝ClBr；n＝2、4)40.0～90.0％卤化锑(SbXn，X＝ClBr；n＝3.5)1.0～30.0％硼酸(H3BO3)2.0～6.0％四氯化钛(TiCl4)0.0～2.0％五氧化二钒(V2O5)0.0～5.0硅酸钠或钾(NA2SiO3或K2SiO3)0.0～10.0％无离子水、无水乙醇、盐酸或王水适量；配制时尽量使其饱和，出现混浊与沉淀时加少量盐酸或王水溶水。(3)热处理：将洗净的基体与耐温键盘模具组装好置于热处理炉内，在300～700℃下将基料处理在基体的空格上，处理时间为30min～3h；(4)后处理：电老化是在处理好的键盘上用6.3～48.0V电压分数挡，每挡老化10～30min；处理键盘边缘绝缘与接线；