[发明专利]测试固体表面与界面特性的方法无效
| 申请号： | 91101993.6 | 申请日： | 1991-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1054832A | 公开（公告）日： | 1991-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杨永正 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01N21/17 |
| 代理公司： | 航空工业部西北专利事务所 | 代理人： | 宋仙波 |
| 地址： | 710072 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明是在固体表面形成的一种反射式一维表面波衍射光棚。在激光束的照射下，产生一列线阵分布的衍射光斑，采用线阵电荷耦合光电器件等系统，得到高精度、快速、自动的光信息处理，取得固体表面与界面的应力、应变、原子扩散等的动态特性，为生产、科研、教学实验开创了研究分析的新方法，具有很高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 固体 表面 界面 特性 方法 | ||
【主权项】：
1、本发明涉及一种测试固体表面与界面特性的方法，其特征在于：在固体材料表面上用光刻、离子溅射、刻划的方法制作出平行等间隔的槽沟，原子自动地从具有高化学势的峰流向低化学势的谷，形成反射式固体一维表面波光栅；
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