[发明专利]碳氮化钛系列镀层离子镀工艺无效

专利信息
申请号: 91102459.X 申请日: 1991-04-20
公开(公告)号: CN1021836C 公开(公告)日: 1993-08-18
发明(设计)人: 杨铁三;黄经筒;游本章;齐克修;吴振华 申请(专利权)人: 中国科学院电工研究所
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/32
代理公司: 中国科学院专利事务所 代理人: 黄永奎
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于物理气相沉积工艺中碳氮化钛离子镀层工艺。现有的装饰镀层工艺是只解决和改进某种特定的单一色调的工艺。而本发明将表面色调与界面结合力等技术统一,采用变参数分层过渡和多元色调的独特工艺,获得了金色、紫色、褐色、枪色、黑色等系列外观色调,同时保证具有优良的界面结合力。本工艺可适用于以铁、钢、铜、铝以及铝合金及其相似的金属为基材的钟表、眼镜、文具、首饰、五金和手工艺品等各种装饰镀层。
搜索关键词: 氮化 系列 镀层 离子镀 工艺
【主权项】:
1、一种碳氮化钛镀层离子镀工艺,其特征在于采用碳、氮、钛三元调色,变参数分层过渡,以在金属基材上形成碳氮化钛系列镀层,该方法包括:(1)采用三元调色可产生金色、紫色、褐色、灰色、枪色、黑色及相应的深浅不同颜色的装饰镀层,每种颜色的碳氮化钛镀层对应于每种确定的钛、氮、碳配比,黑色蒸发源电流60A,N2+C2H2分压5.3×10-1帕,原子比:Ti15~40%,N210~25%,C40~80%,灰色蒸发源电流60A,N2+C2H2分压5.3×10-1帕,原子比:Ti15~40%,N20.1~10%,C45~80%,枪色蒸发源电流50A,N2+C2H2分压1.6×10-1帕,原子比:Ti20~40%,N20.1~10%,C45~80%,褐色蒸发源电流60A,N2+C2H2分压2.6×10-1帕,原子比:Ti25~40%,N225~60%,C5~10%,紫色蒸发源电流60A,N2+C2H2分压3.3×10-1帕,原子比:Ti25~45%,N230~65%,C2~4%,金色蒸发源电流60A,N2+C2H2分压5.3×10-1帕,原子比:Ti30~50%,N235~70%,C1~2%;(2)整个镀层分为2+i层次,变参数分层过渡连续完成,第一层先镀钛,第二层镀氮化钛,以后各层镀碳氮化钛,最后一层碳氮化钛对应于所要求颜色的钛、氮、碳配比,几种颜色的层次与各层的N2/C2H2值为。
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