[发明专利]平行平面薄膜光束分束方法及其分束器

摘要

本发明公开的平行平面薄膜光束分束方法及其分束器，特别适用于激光应用技术范畴，按需要将一束激光分成为N束等光强的平行光束，其方法为将基片加工成两平行平面，在入射面上通过一特定点绘一条平行于该面底边的平行线，将基片分为两部分，靠底边部分镀增透膜，另一部分镀全反膜，在另一平行面上，通过相邻两个反射点连线的中心点绘制平行于基片底边的平行线，将该平面绘制成所需的N条窄带，各自镀反射率不同的反射膜。

主权项

1、一种平行平面薄膜光束分束方法，其特征为它包括下列步骤：(1)将基片加工成平行平面P和F基片，(2)根据需要确定相邻两束光之间距离，从而选择基片厚度B和调整基片入射面入射光与其法线的夹角α，(3)在入射平面P及出射平面F上绘制一入射激光束多次反射的反射点，(4)在入射面P上，通过入射光点和其相邻的反射点之间连线的中心点，绘制一条平行于基片底边L的直线K，将基片分成两部分(1)及(2)，第(1)部分镀增透膜，反射率小于0.1%，第二部分镀全膜，反射率大于99.8%，(5)在出射面F上，分别通过相邻反射点之间的中心点，绘制平行于基片底边L的直线，将出射面分成N条长方形窄带，(6)在出射面N条长方形窄带上各自镀反射膜，但反射率各不相同，它们从基片底边L构成的第一层窄带开始到最上面一层的反射率分别为(N-1)/(N)，(N-2)/(N-1)，(N-3)/(N-2)……，1/2，增透膜。