[发明专利]多功能激光调阻机

摘要

本发明是一种多功能激光调阻机。主要包含调准指示激光系统、带有开关系统的NdYAG激光器有消除滞留水构件、泄压孔、三维可调的支撑架；带有单非球面会聚镜、两光程补偿镜和双色转向镜的扩束会聚系统；有热沉样品盘、冷光照明和吸排烟器的样品工作台和有列管式换热器的超净循环水冷却系统。它具有结构合理，各系统部件成本低，制作技术简便易行等优点，适用于调阻、划片、引线焊接等。

主权项

1.一种多功能激光调阻机，是有Nd:YAG激光器(2)产生激光束，经扩束会聚系统(3)扩束聚焦在样品工作台(4)中处于焦平面位置上的样品盘(26)上，样品工作台(4)上还架有目视观测与摄像监视系统(5)，由阻值动态测量系统(6)实时监测输出反馈控制信号给激光与Q开关电源(8)，从而由激光与Q开关电源(8)控制Nd:YAG激光器(2)的激光输出，在Nd:YAG激光器(2)的同一光路中有可见光波段的调准指示激光(1)，还有供Nd:YAG激光器(2)冷却所用的超净循环水冷系统(7)，其特征在于Nd:YAG激光器(2)的全水冷聚光腔(17)出入水口的圆角部位有消除滞留水构件(71)，聚光腔(17)金属支座的底面两侧中央部位有泄压孔(72)，聚光腔(17)下面有转动、平动、升降三维可调的支撑架(73)；扩束会聚系统(3)中有置于Z方向调焦镜筒(47)中的非球面会聚镜(23)，在会聚镜(23)与样品(26)之间置有双色转向镜(25)，当补偿光路时，有补偿镜(21)置于扩束负透镜(20)和扩束正透镜(22)之间，将补偿镜(24)置于非球面会聚镜(23)和双色转向镜(25)之间；样品工作台(4)上的样品是置于有大热容量的样品与铜热沉样品盘(26)里，样品盘(26)是置于X-Y拖板上，样品盘(26)的顶上有冷光照明光源(28)和吸排烟器(74)；作为Nd:YAG激光器(2)水冷系统的超净循环水冷却系统中有列管式换热器(61)。