[发明专利]互补光束波面检测仪无效
| 申请号： | 91107496.1 | 申请日： | 1991-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1030543C | 公开（公告）日： | 1995-12-20 |
| 发明（设计）人： | 钱秋明;赵建明;杨少辰;王之江;赵新宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/10 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英,张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种互补光束波面检测仪，由于本检测仪采用特制的含有全透射光区和全反射光区的光束分割元件，它将入射光束分割成空间互补的透射和反射两束光，两束光分别被同时连接到差分电路和相加电路上的两探测器接收，再经放大电路到显示系统上，所以它具有测量精度高、用途广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 互补 光束 检测 | ||
【主权项】：
1.一种互补光束波面检测仪，包括从一光源发射的光束，经一分光镜(11)分成两束光，一束光作为监视光束经一透镜L3(10)被光电探测器D3(12)接收；另一束光作为测量光束通过一会聚透镜L2(9)，到光电探测D1(2)，光电探测器D1(2)的输出一路连接到相加电路(5)经放大电路A2(6)到显示系统(13)，另一路连接到差分电路(3)经放大电路A1(4)到显示系统(13)，其特征在于在测量光束的光路上，经会聚透镜L2(9)会聚再发射后，与光电探测器D1(2)之间置有一由一条闭合曲线为交界线(16)分成全透射光区(14)和全反射光区(15)的光束分割元件(1)光束分割元件(1)将测量光束分割成两束光，一束光是由光束分割元件(1)中全透射光区(14)透射的光束进入光电探测器D1(2)中，另一束是由光束分割元件(1)中全反射光区(15)反射的光束经会聚透镜L1(8)进入光电探测器D2(7)中，光电探测器D2(7)的输出与光电探测器D1(2)的输出同时连接到相加电路(5)和差分电路(3)上。
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