[发明专利]实时检测非球面的全息干涉装置

摘要

本发明属于光学波面面形检测领域中实时检测非球面面形的一种全息干涉装置，由平面镜17，分束器3、光源1、扩束器2、分束器3、参考平面镜4、零位补偿器5，计算全息图6、成象透镜7、空间滤波器8、面阵探测器9、偏振分束器10、成象系统11、显示器12、计算机13、起偏镜15和16、面阵探测器18构成。本发明要解决的问题是可分别用于粗加工和精加工阶段的检测。避免繁琐的化学显影处理及由此产生的随机检测误差。本发明功能齐全、检测量程大、使用范围广、使用简便、制造容易、检测精度高、干涉图易于分析和处理等优点。

主权项

1、一种实时检测非球面的全息干涉装置，采用扩束器2、分束器3、参考平面镜4和零位补偿器5、成像透镜7、空间滤波器8、面阵探测器9，其特征在于：在光源1的两条出射光束上分别放置起偏镜15和起偏镜16，二者起偏方向成正交关系，起偏镜15或起偏镜16的起偏方向与偏振分束器10的偏振透过方向一致，利用平面镜17、分束器14使由光源1发出的二光束共轴同向传播，在分束器3的主干涉出射方向上放置偏振分束器10，实时记录显示器6的读出面面对偏振分束器10透射光束且位于与被测非球面光瞳共轭平面上，面阵探测器18的接收面面对偏振分束器10反射光束且位于与被测非球面光瞳共轭平面上，显示器12的显示面与实时记录显示器6的写入面相对且平行，成象系统11的主轴与显示器12的显示面和实时记录显示器6的写入面相互垂直，在偏振分束器10反射实时记录显示器6读出图象的光轴上安置成象透镜7，面阵探测器9的接收面位于实时记录显示器6读出面的共轭面上，面阵探测器9、面阵探测器18和显示器12与计算机13用导线相连接。