[发明专利]控制颗粒流化床中基材上的沉积过程的方法和装置

摘要

对于涂覆在颗粒流化床中的工件上的热分解碳进行精确的控制是藉检测床层上方和床层下部或恰在床层下方的压力之差来实现的。已发现这一压力差的测量能真正代表这种涂覆器内床层的大小，并且床层大小是使涂覆物质具有所需特性的非常重要的因素。对应于所测压力差的变化对床层尺寸进行调节，可以容易地使床层尺寸基本上恒定不变；或者可以令压力差按照预先编制的程序逐步变化。在这两种情况下都是通过加入颗粒到床层或改变颗粒排出的速率来进行调节的，因此可获致精确的涂层特性，例如可使厚度具有很小的公差。

主权项

1．一种能精密控制将某一物质沉积在飘浮于颗粒流化床的基材上的过程的方法，该沉积过程在一个有气体向上流动的沉积室中进行，其特征在于所述方法包括：在所述的室中建立一个处于流态化状态的颗粒床，至少有一个待涂覆基材飘浮在该流化床中，飘浮是由所用气体的朝上流动实现的，将颗粒和基材加热到所需温度，将受热可分解的组分加入到所述气体中使得该组分发生热分解，从而使所需热分解物质沉积在基材和颗粒上，此时基材与颗粒都处于飘浮状态，以可控制的方式将颗粒由床层排出，以可控制的方式将颗粒加入床层，进料颗粒的平均粒度小于排出颗粒的平均粒度，在床层的内部或其下方的预定的位置与在床层上方分别检测压力，从而得出这两者压力的差值，对应于所得的压力差改变颗粒由床层排出的速率或向床层加入颗粒的速率或同时改变此两个速率，使得在长时间范围能对沉积进行精确调节，从而在所述被涂覆基材上产生精确的涂层。