[发明专利]一种高压晶闸管制造方法及装置

摘要

一种高压晶闸管制造方法及装置，属于晶闸管生产中的一种双质掺杂方法及扩散系统装置。本发明为铝乳胶源涂布与气相镓杂质相结合的一种分步扩散法，是先在N型硅片上均布二氧化硅铝乳胶源进行铝扩散，后扩铝硅片经单面抛光、热氧化、开管扩镓，最后完成铝镓再分布。扩散装置的石英管短，无内扩散管，只用一个磨口。采用该方法及装置，扩散均匀性和重复性好，扩散参数可控性和可调性强。

主权项

1、一种高压晶闸管制造方法，采用铝乳胶源涂布与气相镓杂质相结合的掺杂方法，其特征在于：扩散工艺是分步进行的，1).先在N型硅片上涂布铝源进行铝扩散，2).然后扩铝硅片经单面抛光、热氧化，3).预扩镓，4).最后完成铝镓再分布，镓掺杂和铝镓再分布的全过程是在热氧化膜和氮气氛保护下在同一扩散炉内完成。