[发明专利]一种半导体扩散长度测量仪

摘要

一种半导体扩散长度测量仪，其特征是光源由恒流脉冲发生器和红外发光二极管构成，用多个干涉滤光片将波长为8500～10500的光谱分离成不同中心波长的单色光，采用Y型光缆将光能耦合到测试样品正面和PIN光电二极管，设有光谱响应度补偿电路，所有测试控制程序，计算公式，校正因子都装入软件包。与现有技术比较，具有光源光强稳定，测试迅速、测量精度高、结构简单、造价低、实现自动测量等优点。

主权项

1.一种半导体扩散长度测量仪，包括光源光学系统，样品架，光能探测系统，表面光电压检测与控制系统，其特征在于：——光源光学系统由红外发光二极管(1)、激励红外发光二极管(1)的恒流脉冲发生器(2)、滤波轮(3)以及Y型光缆(4)构成，其中恒流脉冲发生器(2)的工作频率为25赫兹，且与50赫兹工频同步，红外发光二极管(1)的中心波长为9300埃～9500埃，允许脉冲电流最大值为16安培，脉冲平均光功率最大值为10毫瓦；——恒流脉冲发生器(2)产生的脉冲其持续时间为400微秒～500微秒；——在8500埃～10500埃波长范围内，滤波轮(3)分离出10～12个单色光，其半幅宽为140埃～200埃，光脉冲持续时间为400微秒～500微秒，该单色光由Y型光缆(4)的(4A)端通过耦合电极(5)照射到测试样品(6)的正面，由Y型光缆(4)的(4B)端耦合到PIN光电二极管(11)上。