[发明专利]制造高密度喷墨印刷头系统的方法

摘要

一种制造喷墨印刷头的侧壁可致动的高密度通道系统的方法，由惰性材料制成的主体部分的第一表面导电地粘结到由活性材料制成的第一中间体部分的第一表面上；然后，机加工许多平行槽，这些槽通过第一中间体部分和部分的主体部分，形成许多被相应的许多侧壁致动器分开的通道，该侧壁致动器包括由惰性材料制成的第一侧壁截面和由活性材料制成的第二侧壁截面，然后，顶体部分导电地粘结到中间体部分上。

主权项

1.一种制造具有一排侧壁可致动的平行通道的喷墨印刷头的方法，所述平行通道贯穿压电材料的中间体部分的厚度，所述中间体部分夹在基体部分和盖部分的相应表面之间且粘结在所述相应表面之间，所述平行通道限定在由所述中间体部分所提供的侧壁之间，所述通道与其端壁上的小孔相通；所述中间体部分上所配置的致动电极用以接收致动电压，使所述侧壁变形，使所述通道扩张和收缩，所述方法的特征在于包括下述步骤：用插入的导电层将所述中间体部分的第一表面粘结到所述基体部分的第一表面；形成多个贯穿所述中间体部分、所述插入的导电层和所述基体部分的一部分的总体上平行的通道，所述多个平行通道各由一对侧壁所限定，各所述侧壁的下部分是由所述主体部分形成的，上部分则是由所述中间体部分形成的，所述插入的导电层的一部分在所用的各侧壁的下部分和上部分之间提供相应的致动电极；所述那对侧壁各包括所述中间体部分的所述第一和第二表面的区域，并限定所述通道，为所述通道提供U形致动器，所述U形致动器包括限定所述通道的所述那对侧壁的所述下部分。