[发明专利]一种电热膜的制造方法和所制成的电热膜无效
| 申请号： | 92113940.3 | 申请日： | 1992-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1032673C | 公开（公告）日： | 1996-08-28 |
| 发明（设计）人： | 戴金利 | 申请（专利权）人： | 戴金利 |
| 主分类号： | H05B3/12 | 分类号： | H05B3/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 山东专利法律事务所 | 代理人： | 王井养 |
| 地址： | 214062 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电热膜的制作方法，是在低真空度下制膜，在真空度为105-10Pa的装置中，用真空加热熏蒸法把含有三氯化铋，并分别含有三氯化锑或四氯化钛等阻值调节剂的四氯化锡乙醇处理液，附着于200-380℃的工件表面，热解形成的二氧化锡电热膜中掺有铋，并分别掺有锑或铁或钛等阻值调整微量组分。本制作工艺能耗低，制成的电热膜均匀度高，粘附力强，阻值适用范围宽，使用寿命可达7000小时以上，成品合格率在95％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 制造 方法 制成 | ||
【主权项】：
1、一种半导体电热膜的制膜方法，其特征在于在低真空度下制膜，在真空度为105-10Pa的装置中，用真空加热熏蒸法把含有三氯化铋，并分别含有三氯化锑或三氯化铁或四氯化钛等阻值调节剂的四氯化锡乙醇处理液，附着于200-380℃的工件表面，热解形成掺有铋，并分别掺有锑或铁或钛的二氧化锡半导体电热膜，所说的处理液的组成(重量％)为：0.1-0.6的三氯化铋，0.3-2.0的阻值调整剂，40-50的四氯化锡及平衡量的乙醇。
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