[发明专利]球冠形栅网参数测量方法及测量仪在审
| 申请号： | 93105072.3 | 申请日： | 1993-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1080394A | 公开（公告）日： | 1994-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李庆祥;薛实福;李志;徐敏娴;于水 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 章瑞溥 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种球冠形栅网参数测量方法及测量仪，属光学测量仪器，该测量方法可测量球冠形栅网的参数及网间距离，采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。本栅网参数测量仪由精密机械系统、光学系统、步进电机及其驱动系统、光栅定位测量系统、信号获取系统五部分组成。通过计算机软件处理可以自动调焦并打印输出测得的栅网参数值，本栅网参数测量仪测得的精度高，可以提高行波管的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 球冠形栅网 参数 测量方法 测量仪 | ||
【主权项】：
1、一种球冠形栅网参数测量方法，其特征是测量栅网间距时采用光学物镜对双(多)栅网多次调焦，记录每次成象清晰后的物镜位置数值，两个位置数值之差即为该两个栅网之间的间距。
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