[发明专利]在基带上制多层膜的设备和方法无效
| 申请号： | 93107174.7 | 申请日： | 1993-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1083544A | 公开（公告）日： | 1994-03-09 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·B·殷兹;约瑟夫·H·塞克斯顿;威廉姆·G·密切尔;约翰·W·尤尔塞斯 | 申请（专利权）人： | 明尼苏达州采矿制造公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 卢宁 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在基带36，206上顺序淀积原材料60、210的方法。基带传输装置62、202使基带36，206在原材料汽相淀积期间，经多个淀积源60、210连续移动。基带36、206的每一部分以一种交替循环的方式暴露在来自淀积源60、210的淀积流束中。暴露在源中的次数可大于源数。 | ||
| 搜索关键词： | 基带 多层 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、在基带表面顺序淀积原材料的方法包括下列步骤：a)设置基带传输装置，使基带经多个淀积源连续移动；b)使多个淀积源面朝基带定位，基带被支托在基带传输装置上；以及c)使基带传输装置工作，在淀积原材料的汽相淀积期间使基带经淀积源连续移动，所以基带的每一部分以一种交替循环的方式暴露在来自淀积源的淀积流束中，交替暴露在淀积源中的次数大于源数。
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