[发明专利]一种椭圆偏振光谱仪的设计方法

摘要

传统模式下的椭圆偏振光谱仪的设计方法均采用单只起偏器，且仅由检偏器作连续转动。本发明采用二个起偏器，其中一个起偏器固定，而检偏器和第二个起偏器采用2∶1系数同步转动，使得由探测器得到的信号为I＝I0+I1cosω0t+I2cos2ω0t+I3cos3ω0t+I4cos4ω0t通过富利埃变换检测上式中4个交流成分，即可自洽求出完整的椭偏参数。采用本发明制造的椭圆偏振光谱仪，测量过程简单，数据精度高，自我定标方便，具有准确、灵敏和实时快速的优点。

主权项

1，一种采用如下程式设计的椭圆偏振光谱仪的设计方法。光源→单色仪→起偏器Px→样品→检偏器A→探测器→计算，上述程式中，起偏器Px被固定在某方位角，检偏器A作频率为ω0连续旋转，由探测器得到的信号为：I＝K0＋K1cos2ω0t+K2sin2ω0t＝K0＋KAcos(2ω0t＋θ)上述中，K0，K1和K2可通过富利埃变换求得：K0=1/nΣi=1nIi,K1=2/nΣi=1nIicos2AiK2=2/nΣi=1nIisin2Ai其中Ai＝(ω0t)，为信号采样角度。其特征在于，上述的起偏器Px采用两个起偏器P0和P其中起偏器P0固定，检偏器A与起偏器P采用2∶1系数同步转动。使得由探测器得到的信号为：I＝I0＋I1cosω0t＋I2cos2ω0t＋I3cos3ω0t＋I4cos4ω0t其中Ik=2/nΣi=1nIicos(KAi)K=1,2,3,4Ai＝(ω0t)，为信号采样角度。通过富利埃变换检测出上式中4个交流成份，由该4个交流分量的不同组合可自洽求出完整的椭偏参数，ρ0和Δ。