[发明专利]亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 93112518.9 | 申请日： | 1993-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1037026C | 公开（公告）日： | 1998-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王桂英;丁军;陈秋水;黄柳红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B21/02 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法，它可以测量标准线宽，也可以测量微光斑尺度。它由计算机、显示器、A/D转换和存储部分、光电探头和含有象传递系统、软边光栏、被测物支架、鉴别率板和照明系统的光学部分所构成。本发明的测量装置及其测量方法具有分辨率高（分辨率是亚微米级的），工作距离长、景深区大、可做到绝对测量，不受周围环境的影响，结构简单，操作方便，造价低、应用面广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 分辨率 光电 混合 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种亚微米分辨率的光电混合测量装置，由五部分：计算机(1)、显示器(2)、A/D转换和存储部分(3)、光电探头(4)和光学部分(5)所构成，其特征在于光学部分(5)含有象传递系统(6)、软边光栏(13)、被测物支架(7)、鉴别率板(12)和照明系统(8)，其中鉴别率板(12)和被测目标(11)是先后置于被测物支架(7)上，被测物支架(7)置于照明系统(8)的均匀照明区的位置上，鉴别率板(12)和被测目标(11)的象经过置于被测物支架(7)与象传递系统(6)之间的软边光栏(13)再通过象传递系统(6)，成象于光电探头(4)的接收面上，光电探头(4)将光学图象变成电信号输送到A/D变换和存储部分(3)中，然后进入计算机(1)，计算机(1)所计算的结果由显示器(2)显示出。
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