[发明专利]薄膜晶体管液晶显示器用的信号线装置及其制造的方法无效
| 申请号： | 93114476.0 | 申请日： | 1993-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN1040914C | 公开（公告）日： | 1998-11-25 |
| 发明（设计）人： | 安炳 | 申请（专利权）人： | 株式会社金星社 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种ＴＦＴ－ＬＣＤ信号线装置和制造该装置的方法包括在玻璃衬底上按预定顺序形成第一和第二金属；确定第二金属宽度后对其进行腐蚀处理；在绝缘结构上沉积第三金属并确定信号线的宽度（Ｗ2），同时除去第一和第二金属的不必要部分。通过两次腐蚀处理避免了信号线的分离以及源／漏极和栅极间的漏电和短路。所述装置和方法提供了可用于ＣＯＧ的焊盘，提高了产量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 液晶显示 器用 信号线 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造TFT-LCD用信号线的方法，它包括以下步骤：按预定顺序在一玻璃衬底上形成第一金属和第二金属；对所述第二金属进行腐蚀处理形成具有宽度W1的金属线；在所得结构上沉积第三金属；以及对所述第一金属和所述第二金属进行腐蚀处理以形成具有宽度W2的金属线，其中宽度W2大于宽度W1。
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