[发明专利]高分辨率鉴相式容栅位移传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 93118916.0 | 申请日： | 1993-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1047436C | 公开（公告）日： | 1999-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赵飚 | 申请（专利权）人： | 赵飚 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 广西壮族自治区专利服务中心 | 代理人： | 来光业 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明属于鉴相式容栅位移传感技术，鉴相式容栅位移传感器具有集成度度、价格低廉、功耗小等特点，但由于付栅输出栅条排列设计，基材选用等问题，使得此种位移传感技术未能应用到较高分辨率和精度的产品上。本发明的特点是采用分布式排列方法排列栅条，和选玻璃或陶瓷为基片，并运用集电路制作中多层布线工艺，使得鉴相式容栅传感器的分辨率能提1～2个数量级，并且精度和稳定性也相应得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 鉴相式容栅 位移 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1．一种高分辩率鉴相式容栅位移传感器，它包括主栅和副栅，其特征在于：采用玻璃或陶瓷作基片，用多层布线法制出栅片，栅片做有金属引脚，并通过连线与电路板相连，栅板中发射极分布在接收极两侧，副栅的节距与主栅对应。
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