[发明专利]一种具有高蚀刻性能的合金薄板无效

专利信息
申请号: 93120826.2 申请日: 1993-12-15
公开(公告)号: CN1035778C 公开(公告)日: 1997-09-03
发明(设计)人: 井上正;山之内直次;鹤清;清水义明 申请(专利权)人: 日本钢管株式会社
主分类号: C22C38/08 分类号: C22C38/08;C22C38/10;C22C38/18
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 全菁
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种蚀刻性能极好并具有穿孔面的合金薄板,包括表面上的{331}、{210}和{211}各晶面;{331}晶面的聚集度为14%或更低,{210}晶面的聚集度为14%或更低和{211}晶面的聚集度为14%或更低;由以下公式表示的聚集度比值为2.0-1∶聚集度比值={210}/({331}+{211})。
搜索关键词: 一种 具有 蚀刻 性能 合金 薄板
【主权项】:
1.一种给出极好蚀刻性能的具有穿孔表面的Fe-Ni合金薄板,它包括:Fe-Ni合金薄板当用作荫罩时含Ni为34~38%(重量),当用作集成电路引线框时含Ni38-52%(重量);所述Fe-Ni合金薄板在其表面上具有{331}、{210}和{211}晶面;{331}晶面的聚集度为14%或更低,{210}晶面的聚集度为14%或更低,{211}晶面的聚集度为14%或更低;和晶面的聚集度比值,即{210}/{331}+{211}为0.2-1.0;所述Fe-Ni合金薄板的表面粗糙度Ra为0.90μm或更小。所述Fe-Ni合金薄板在其厚度方向上的平均晶粒度为10μm或更小。
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