[发明专利]测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法在审

专利信息
申请号: 93121289.8 申请日: 1993-12-30
公开(公告)号: CN1104765A 公开(公告)日: 1995-07-05
发明(设计)人: 张国雄;杨世民 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G01B7/02 分类号: G01B7/02
代理公司: 天津大学专利代理事务所 代理人: 张锐
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法。本发明属长度计量与测试技术领域,结构由三维位移测量单元组成,其导向元件为波纹管或膜片三维弹性体,其优点在于可测量大于Φ0.2mm的通孔或盲孔和狭槽任意截面尺寸和形状误差,被测小孔深径比大于30∶1,本发明测头可装在三坐标测量机上,当测头接触工件时,测杆变形并带动弹性体变形,用电容测微仪测头测出固定于三维弹性体上的金属平板竖向位移值,就可以对工件瞄准和测量,用电容测微仪示值计算可修正测杆变形误差。
搜索关键词: 测量 小孔 三维 测量方法
【主权项】:
1、测量盲小孔与狭槽的三维测头,其特征在于,波纹管或膜片三维弹性体(1),上端固定夹板(2),下断固定夹板(3),弹性测杆(4),电容测微仪的四个测头(5),金属十字平板(6),和球状测端(7)组成三维位移单元,三维弹性体(1)上部固定于上端固定夹板(2)上,三维弹性体(1)下部固定于下端固定夹板(3)上,下端固定夹板(3)与十字平板(6)固定联接,电容测微仪的四个测头(5)对称分布固定于上端固定夹板(2)上,弹性测杆(4)的上端与固定夹板(3)固定联接,球状测端(7)固定于弹性测杆(4)的下端。
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