[发明专利]研磨方法,装置及其研磨轮无效
| 申请号： | 93121397.5 | 申请日： | 1993-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1089050C | 公开（公告）日： | 2002-08-14 |
| 发明（设计）人： | 川崎修司 | 申请（专利权）人： | BBF山手株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24D13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王礼华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种研磨方法，一面向用旋转驱动手段(1)旋转的研磨轮(12)的研磨面(121)和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B)，一面用研磨轮(12)研磨加工部件(W)，使研磨轮(12)的研磨面(121)一边相对加工部件(W)的被研磨面边作进退运动，边研磨加工部件(W)的被研磨面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 装置 及其 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，设有带被研磨面的加工部件(W)和以适宜手段旋转的研磨轮(12)(22)，以上述被研磨面的轴心为中心且可旋转地设置着上述加工部件(W)，同时由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)的被研磨面；其特征在于：设置一对研磨轮(12)(22)，使一方的研磨轮(12)以与上述加工部件(W)的旋转方向相同的状态接触上述被研磨面旋转，同时使另一方的研磨轮(22)以与上述加工部件(W)的旋转方向相反的状态接触上述被研磨面旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于BBF山手株式会社，未经BBF山手株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/93121397.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液态金属转移设备及液态金属保护方法
- 下一篇：局部缺血病治疗剂
