[发明专利]一种微电子光刻的光化生酸源无效
| 申请号： | 94102680.9 | 申请日： | 1994-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1095060A | 公开（公告）日： | 1994-11-16 |
| 发明（设计）人： | T·A·克斯 | 申请（专利权）人： | 莫顿国际股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C309/86 | 分类号： | C07C309/86;G03F7/022;H01L21/312 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 吴惠中 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新的光化产酸剂，它具有如(I)的结构式，式中R＝-H，-OH或-O-S(＝O)2-Q部分；R1＝-CH2OS(＝O)2-Q或NO2；R2＝-CH2OS(＝O)2-Q或-NO2；R3＝低级烷基或-H；R4＝-H，-CH2OS(＝O)2-Q或-NO2；R5＝-H，-CH2OS(＝O)2-Q或-NO2以及Q为重氮萘醌部分。条件是当R2和R4为-NO2时，R3为低级烷基，以及R1＝R2，R4＝R5。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 光刻 化生 | ||
【主权项】：
1、一种具有如下结构式的重氮醌磺酸酯：其特征在于：式中R=氢，羟基或-O-S(=O)2-Q部分；R1=CH2OS(=O)2-Q或-NO2；R2=CH2OS(=O)2-Q或-NO2；R3=低级烷基或氢；R4=氢，-CH2OS(=O)2-Q或-NO2；R5=氢，-CH2OS(=O)2-Q或-NO2；以及Q为一种重氮萘醌部分，其条件是当R2和R4为-NO2时，R3为低级烷基，以及R′≠R2，R4≠R5。
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