[发明专利]能够输出单一谐波的光栅位移测量装置无效
| 申请号： | 94106704.1 | 申请日： | 1994-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1100803A | 公开（公告）日： | 1995-03-29 |
| 发明（设计）人： | 王春海;张国雄 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 天津大学专利代理事务所 | 代理人： | 李素兰,张锐 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 能够输出单一谐波的光栅式位移测量装置，属于使用光电扫描光栅的光学测量装置。是由光源，聚焦镜，黑白主光栅，指示光栅及光电接收装置组成，其指示光栅为光栅刻线的光强透过率按正弦函数变化的正弦指示光栅。本发明可消除高次谐波的影响，使光栅信号只输出单一谐波。可制成与现有指示光栅相兼容的形式，且光栅信号谐波的纯洁性不受莫尔条纹空间频率变化的影响，具有较高的对比度。可广泛地用于线位移和角位移的测量，精度高，并易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 输出 单一 谐波 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种能够输出单一谐波的光栅式位移测量装置，有光源，并位于聚光镜的焦面上，聚光镜发出的准直光束，依次通过彼此相邻的黑白主光栅和指示光栅，以及光电接收装置，其中黑白主光栅和指示光栅的刻线相互倾斜或者方向一致，并具有与运动部件相联结的手段，其特征是，所说的指示光栅为光栅的刻线的光强透过率按正弦函数变化的正弦指示光栅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/94106704.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水溶粉末仿瓷涂料及其生产工艺
- 下一篇：游标卡尺类快速调零位修复法
