[发明专利]镱低压传感器制作方法无效
| 申请号： | 94107272.X | 申请日： | 1994-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1099135A | 公开（公告）日： | 1995-02-22 |
| 发明（设计）人： | 浣石;黄风雷;张震宇;洪兵 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410073 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种镱低压传感器的制作方法，其是在非金属基底的边缘粘附有箔状铜引线，在铜引线的头部，利用真空蒸镀镀有一金属镱膜层，在加温和加压条件下，在铜引线和镱膜表面压上感光层，将具有传感器敏感部分的形状的底片压在感光层上曝光，然后在碱溶液中显影，用酸溶液将露出的镱膜腐蚀掉，清洗后烘干，最后利用封装工艺封装。利用本发明给出的方法，可得到质量性能稳定，不受传感器尺寸限制的镱低压传感器，其质量均一性能好。由于很容易与底片上得到精确的传感器的各种形状，上述方法可制得各种压力传感器，突出的是其精度高，误差小。 | ||
| 搜索关键词： | 低压 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种镱低压传感器的制作方法，其特征在于在非金属基底的边缘粘附有箔状铜引线，在铜引线的头部，利用真空蒸镀镀有一金属镱膜层，在加温和加压条件下，在铜引线和镱膜表面压上感光层，将具有传感器敏感部分的形状的底片压在感光层上曝光，然后在碱溶液中显影，用酸溶液将露出的镱膜腐蚀掉，清洗后烘干，最后利用封装工艺封装。
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