[发明专利]一种共溅射固体润滑薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 94107544.3 | 申请日： | 1994-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1043366C | 公开（公告）日： | 1999-05-12 |
| 发明（设计）人： | 于德洋;王均安;孙晓军;朱昌铭;翁立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C10M103/06 |
| 代理公司： | 中国科学院兰州专利事务所 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种共溅射固体润滑薄膜与其制备方法，采用如下成分的复合靶共溅射制得二硫化钼８５％～９５％，金或金－钯合金３％～１２％，氟化铈或氟化镧０．２％～５％（重量）。该膜具有低摩擦系数，可靠的耐环境力学特性，较强的防冷焊能力和较长的耐磨寿命以及良好的耐潮湿空气特性。适用于精密机械特别是空间机械中相对运动部件表面改性处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 固体 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种共溅射固体润滑薄膜，该薄膜采用如下成分的复合靶共溅射制得：二硫化钼85％～95％，金或金-钯合金3％～12％，氟化铈或氟化镧0.2％～5％(重量)。
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