[发明专利]蓝宝石平面上的氧化锌压电晶体膜无效
| 申请号： | 94109460.X | 申请日： | 1994-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1050246C | 公开（公告）日： | 2000-03-08 |
| 发明（设计）人： | 小池纯;家木英治 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种氧化锌压电晶体膜，由溅射法外延生长于Ｒ－平面蓝宝石衬底上时，使用含相对于Ｚｎ和Ｃｕ的总量为不大于４．５％（重量）的Ｃｕ的靶极，就可使该氧化锌压电晶体膜含铜。这样，就可获得一种具有优异取向的氧化锌压电晶体膜。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 平面 氧化锌 压电 晶体 | ||
【主权项】：
1.一种外延生长于蓝宝石表面的(1120)—平面氧化锌压电晶体膜，该蓝宝石表面实质上平行于其(0112)—平面，其特征在于：所述氧化锌压电晶体膜含有对Zn和Cu的总量不大于4.5重量％的Cu。
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