[发明专利]硅晶元的制造方法无效
| 申请号： | 94115149.2 | 申请日： | 1994-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1118732A | 公开（公告）日： | 1996-03-20 |
| 发明（设计）人： | 黄忠川 | 申请（专利权）人： | 黄忠川 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02 |
| 代理公司： | 北京市中原信达知识产权代理公司 | 代理人： | 余朦 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅晶元的制造方法，尤其涉及一种更易于加工、可降低成本及具有更优异的加工性能，且在加工过程中不会造成空气污染和高温的形成，符合环保要求的硅晶元的制造方法。其生产步骤大致为准备材料；固定硅晶片；固定抗喷砂膜板；进行喷砂刻蚀；施行剥离；上述新颖的硅晶元的制造方法可有效地降低成本、提高加工性能及加工效率，而且在产业上有使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 硅晶元 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅晶元的制造方法，其特征在于包括下列步骤：(1)准备材料：将所需要的材料，即硅晶片、玻璃、水溶性胶、膜板及胶布准备好以备用；(2)固定硅晶片：a.首先在玻璃表面均匀涂布一层水溶性胶，再将硅晶片贴覆于玻璃表面上的水溶性胶上而贴固，然后使其自然风干；b.风干之后，再次在硅晶片表面上均匀涂布一层水溶性胶，以使硅晶片的表面与外界隔离；(3)固定膜板：将事先行预制好的膜板粘贴于硅晶片；(4)喷砂刻蚀加工：以喷砂机对贴附于玻璃表面上的硅晶片进行喷砂，使硅晶片经喷砂刻蚀后形成与膜板形状相同的硅晶元；(5)剥离操作：a.先将胶带粘贴于膜板上；b.再将上述工件置于纯净水中，然后将玻璃及粘贴有膜板的胶带抽出即得所需要的小的硅晶元。
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