[发明专利]用于监视的方法和装置以及标明状态的盘承载器无效
| 申请号： | 94117001.2 | 申请日： | 1994-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1066856C | 公开（公告）日： | 2001-06-06 |
| 发明（设计）人： | Ｎ·Ｔ·奇斯布劳;Ｓ·Ｄ·埃加姆;Ｒ·Ｄ·科斯;Ｒ·Ｓ·威廉斯 | 申请（专利权）人： | 氟器皿有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B65D85/86;G11B5/84;G06K7/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杜有文,王岳 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种方法和装置，用于监测多个半导体片或存储盘批料通过处理设备中的各种位置处的多个处理操作的进程，并保持与各个批料的进程有关的信息。承载器上嵌有应答器。该应答器带有编码，用于标明承载器和包含在其中的片或盘批料并进一步标明批料已经经过的各种处理操作。有限范围读取单元对每一个承载器附近进行检测，并确定任一个承载器的唯一标识。写入单元改变某一应答器的状态码，以表示该批料经过了某一处理。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监视 方法 装置 以及 标明 状态 承载 | ||
【主权项】：
1．一种盘承载器，包括：(a)一个带有相对的壁的本体，这些壁具有面向内的、其尺寸适于以平行和轴向排列保持盘的槽，各个本体具有一个壁部分，该壁部分具有一个边缘，且一个长形凹槽从所述边缘向内延伸到该壁部分中；(b)一个插入该长形凹槽中的无线电频率应答器，该应答器具有可由一个外部读取单元读取的唯一标志码；以及(c)一个用于将该应答器密封包围在所述凹槽内的盖。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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