[发明专利]制造氧化铟/氧化锡烧结体的方法和用其制造的制品无效

专利信息
申请号: 94191538.7 申请日: 1994-02-04
公开(公告)号: CN1119850A 公开(公告)日: 1996-04-03
发明(设计)人: G·兰库;J·L·布里顿 申请(专利权)人: 维苏威乌斯坩埚公司
主分类号: C04B35/00 分类号: C04B35/00;C23C14/34
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 卢新华,魏金玺
地址: 美国特*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及制造高密度氧化铟/氧化锡(ITO)烧结体的方法,及其ITO烧结体。当把薄而透明且有导电性的ITO膜沉积在透明基体上时,本法生产出的高均一性ITO烧结体适合在这种制造步骤中用作溅射靶。本方法包括的步骤有制备浆料,其固体成分是由99和50重量%之间的In2O3和1-50重量%之间的SnO2以及约0.05-0.25%的烧结剂的细分混合物组成,该烧结剂选自铝、镁、钇、和硅中的一种氧化物;使所得到的浆料成型为密度在约4.0和4.8g/cm3之间的坯体,并在于坯体上方保持有氧气流从而足以避免在所述坯体四周产生还原性气氛、但不足以引起In2O3和SnO3显著离解的同时,加热坯体至烧结温度约1500-1600℃之间。坯体可通过浇注所得到的浆料或通过往浆料中加入粉末状粘结剂,喷雾干燥,再冷压所得到的粉末来成型。
搜索关键词: 制造 氧化 烧结 方法 制品
【主权项】:
1.一种制造高均一性的高密度ITO烧结体的方法,包括:制备一种浆料,其固体成分是由In2O3、SnO2和除铟和锡的氧化物以外的介于约0.01-0.25%(按重量计)的氧化物的细分混合物组成,所述氧化物相对铟锡氧化物来说起烧结剂作用;粉浆浇注所述浆料成坯体,其密度在约4.2-4.8g/cm3之间,和将所述末烧结体在氧气气氛中加热至烧结温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于维苏威乌斯坩埚公司,未经维苏威乌斯坩埚公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/94191538.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top