[实用新型]多蒸发离化源离子镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种多蒸发离化源离子镀膜机，属于离子镀表面沉积技术。该镀膜室为筒式结构，室壁与镀膜室底座焊接或螺接，镀膜室置于底座上。加热器焊封在镀膜室底座或侧盖的中心或四周。镀膜室的另一端有密封盖或门。多个(二个以上)蒸发离化源沿筒体轴线方向等距离布置在室壁的四周。真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源由磁铁、靶材、引弧丝、冷却水套等组成。本实用新型设计的镀膜机构简单、通用性强，可以用于大型工件镀层。

主权项

1、一种多蒸发离化源离子镀膜机，由镀膜室、转动架、电机及减速机构、上盖、底座、蒸发离化源、加热器、工件架和真空排气系统组成，其特征在于镀膜室为筒形结构，室壁与底座相焊接；电机及减速机构安装在上盖上，转动架与减速机构相联，工件架装在转动架上；蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁四周；加热器焊封在底座上，真空排气系统与镀膜室相联；所述的蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成，其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装，电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。