[发明专利]共栅极结构的晶体管无效
申请号: | 95100427.1 | 申请日: | 1995-02-27 |
公开(公告)号: | CN1111826A | 公开(公告)日: | 1995-11-15 |
发明(设计)人: | 黄俊 | 申请(专利权)人: | 现代电子产业株式会社 |
主分类号: | H01L29/784 | 分类号: | H01L29/784 |
代理公司: | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人: | 孙履平 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶体管结构,更详细地说,涉及共栅极结构的晶体管,它包括两个晶体管共同夹着一个在同一层中形成的栅极,从而改进了布局结构并使工艺简单。 | ||
搜索关键词: | 栅极 结构 晶体管 | ||
【主权项】:
1、一种共栅极结构的晶体管,包括:一第1半导体衬底;一第1源区和一第1漏区,它被形成在此第1半导体衬底的各自预定区域;一第1栅极绝缘区,它形成在除第1源区和第1漏区外的半导体衬底区域上;一栅极,它形成在所述第1栅极绝缘区上;一第2栅极绝缘区,它形成在所述栅极上;一绝缘区,它形成在由所述第1栅极绝缘区、栅极以及所述第2栅极绝缘区提供的侧壁上和在所述第1源区和第1漏区顶面上;一第2半导体衬底,它被覆盖在所述第2栅极绝缘区和绝缘区上形成;以及一第2源区和一第2漏区,它形成在第2半导体衬底内,所述第2源区与绝缘区和第1源区对齐,所述第2漏区与所述绝缘区第1漏区对齐。
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