[发明专利]内联式非晶硅太阳能电池及制造方法无效
| 申请号： | 95104992.5 | 申请日： | 1995-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1034617C | 公开（公告）日： | 1997-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李毅;周起才;丁孔贤;郑泽文;周帅先;陈刚;何承义 | 申请（专利权）人： | 李毅 |
| 主分类号： | H01L31/20 | 分类号： | H01L31/20 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 张艺影 |
| 地址： | 518133 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及内联式非晶硅太阳能电池的制造方法属半导体器件制造技术，具体地说是一种内联式集成型非晶硅太阳能电池及制造方法，由印刷形成透明电极，是在透明导电膜上用耐酸浆料丝印正电极图形，用240至300目的丝网和耐酸浆料印制导电膜保层，在温度60℃条件下，干燥一小时后，放入温度为70℃的酸溶液中，再用1％～3％的氢氧化钠水溶液除去导电膜表面的保护层。工艺简单，可实现规模生产，减少电池漏电，提高产品成品率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 内联 式非晶硅 太阳能电池 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种内联式非晶硅太阳能电池的制造方法，在透明衬底上形成透明导电膜，由印刷形成透明电极；由辉光放电沉积非晶膜，由激光刻划形成非晶硅图形；由电子束蒸发或溅射法形成背电极，其特征在于由印刷形成透明电极，是在透明导电膜上用耐酸浆料丝印正电极图形，用240至300目的丝网版和耐酸浆料印制导电膜保护层，在温度60℃条件下，干燥一小时后，放入温度为70℃的酸溶液中，再用1％～3％的氢氧化钠水溶液除去导电膜表面的保护层，用防腐铜浆印制可焊电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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