[发明专利]改进的制造薄膜可致动反射镜阵列的方法

摘要

一种改进的生产Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列的方法，包括如下步骤提供具有平的顶面的基底；在其顶面上相继形成分离层、第一薄膜层、薄膜电致移位层、第二薄膜层、弹性层和薄膜待除层；对待除层形成Ｍ×Ｎ空槽阵列；在待除层顶上形成支承层；形成Ｍ×Ｎ导管阵列；在其上形成一个Ｍ×Ｎ半成品的可致动反射镜结构；将一个有源矩阵与其相连；去除分离层，在Ｍ×Ｎ半成品可致动反射镜阵列中形成可致动反射镜结构的图案；去除薄膜待除层；形成所需×阵列。$#!

主权项

1、一种制造用于光学投影系统的M×N薄膜可致动反射镜阵列的方法，该方法包括如下步骤：(a)提供一个具有一顶面的基底；(b)在基底顶面上形成一个分离层；(c)在分离层的顶上镀覆第一薄膜层，该第一薄膜层由导电和反光材料制成，能够在薄膜可致动反射镜中起到反射镜和偏压电极的作用；(d)在第一薄膜层顶上形成一个薄膜电致移位层；(e)对薄膜电致移位层进行热处理，使之发生相变；(f)在薄膜电致移位层顶上镀覆由导电材料制成的第二薄膜层，它能够在薄膜可致动反射镜中起信号电极的作用；(g)在第二薄膜层顶上形成一个由绝缘材料制成的弹性层；(h)在弹性层的顶上形成一个薄膜待除层；(i)通过去除待除层的一些部分，形成一个M×N空槽阵列，各空槽从待除层的顶部延伸到弹性层的顶部；(j)在待除层的顶上，形成一个由多晶硅制成的支承层，其中，各空槽也填充有该多晶硅；(k)形成一个M×N个导管的阵列，各导管从支承层的顶部延伸到第二薄膜层的顶部，各导管穿过各空槽，从而形成一多层结构；(l)在多层结构的顶上形成一个M×N晶体管阵列，各晶体管通过一个导线图案与各导管电连接，从而形成一半成品的可致动反射镜结构；(m)将一个有源矩阵与半成品的可致动反射镜结构连接；(n)通过去除分离层将基底从半成品的可致动反射镜结构上分离，从而形成一可致动反射镜结构；(o)将该可致动反射镜结构形成出一个M×N半成品可致动反射镜阵列的图案。(p)在各半成品的可致动反射镜中去除薄膜待除层，从而形成M×N薄膜可致动反射镜阵列。