[发明专利]铜及铜合金的浸蚀液无效
| 申请号： | 95105687.5 | 申请日： | 1995-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1078629C | 公开（公告）日： | 2002-01-30 |
| 发明（设计）人： | 中川登志子 | 申请（专利权）人： | 美克株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 林蕴和 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种对铜的浸蚀速度快、浸蚀后铜的表面不易氧化的过硫酸盐型浸蚀液。该浸蚀液系在含过硫酸盐的水溶液中添加选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一种而成。$#! | ||
| 搜索关键词： | 铜合金 浸蚀 | ||
【主权项】：
1.一种铜及铜合金的浸蚀液，其特征在于，由含过硫酸盐的水溶液组成，含有0.1-10克/升的选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一种。
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