[发明专利]带改进型检测电路的微机械加速度计无效
| 申请号： | 95108051.2 | 申请日： | 1995-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1126839A | 公开（公告）日： | 1996-07-17 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·M·博伊塞尔 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 采用微机械部件测量加速度的装置。一实施例有一个或多个加速度部件，每个部件有一片状物，并用一柔性铰链在其两端悬置该片状物。响应于加速度，片状物可绕轴沿第一和第二转动方向偏转。每个部件还有电极，当片状物沿任一方向偏转时，用电极来感知片状物的偏转。根据偏转是接触式、非接触式还是反馈式，不同的检测电路以不同的方式工作。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 检测 电路 微机 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种微机械数字式加速度计，其特征在于，包括：至少一个加速度敏感部件和一个检测电路，加速度敏感部件有：一块片状物、至少一个支承所述片状物的柔性铰链以及在所述片状物下的一个电极，每当响应于加速度力，所述片状物移离其正常位置(这时铰链不变形)时，所述铰链就变形，检测电路在电气上连至所述电极，用以检测所述片状物移离所述正常位置的移动；其中，当所述片状物偏转但不接触所述电极时，所述片状物向所述电极偏转，而所述检测电路检测所述片状物的这一位置改变。
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